新聞資訊 / News
熱銷產(chǎn)品 / Hot Products
最新資訊 / Latest Products
全國統(tǒng)一銷售熱線
0755-85258900
0755-85258903
0755-84656505
0755-84656716
成功案例
化學(xué)氣相沉積(CVD)硅烷檢測儀-案例百科-深國安
化學(xué)氣相沉積(CVD)硅烷檢測儀案例百科：
上海客戶某半導(dǎo)體制造企業(yè)生產(chǎn)過程中，硅烷常用于化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，該工藝有時與濺射工藝協(xié)同用于半導(dǎo)體制造。硅烷也是高度易燃?xì)怏w，它在空氣中能自燃，一旦泄漏，很容易被周圍環(huán)境中的熱源(如設(shè)備運行產(chǎn)生的熱量)點燃，引發(fā)火災(zāi)。因此，為安全起見，需要配備一批專業(yè)硅烷檢測儀設(shè)備，實現(xiàn)氣體濃度的實時監(jiān)測、分級預(yù)警及數(shù)據(jù)追溯，規(guī)避安全事故與合規(guī)風(fēng)險。該項目負(fù)責(zé)人經(jīng)過與深國安詳細(xì)技術(shù)洽談，定制107套硅烷檢測儀器。近期，設(shè)備已全部安裝完畢，正式投入使用當(dāng)中。
行業(yè)背景：
硅烷(SiH4，常簡稱甲硅烷)作為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心特種氣體，被譽為“芯片制造的硅之源”，貫穿晶圓制造、集成電路封裝、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)等全流程核心工藝，是化學(xué)氣相沉積(CVD)、外延生長、多晶硅制備及摻雜工藝的關(guān)鍵原料，其純度與使用安全性直接決定半導(dǎo)體芯片的性能、良率及生產(chǎn)穩(wěn)定性，90%的晶圓制造與先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)均需依賴高純度硅烷氣體開展生產(chǎn)活動。
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端化、精細(xì)化升級，芯片制程不斷突破(向7nm及以下節(jié)點邁進(jìn))，對硅烷氣體的純度要求提升至99.9999%以上，同時硅烷的高危特性也使得行業(yè)安全管控面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，硅烷檢測儀的應(yīng)用成為半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的必然需求。
產(chǎn)品資料：
深國安SGA-500硅烷檢測儀是專門針對半導(dǎo)體行業(yè)所研發(fā)的一款高精度實時監(jiān)測型氣體報警器(帶CT6防爆證)，信號默認(rèn)為4-20mA電流輸出;產(chǎn)品運用當(dāng)前最先進(jìn)的微電子處理技術(shù)，搭配國外原裝進(jìn)口氣體傳感器，可快速、準(zhǔn)確地檢測目標(biāo)氣體。產(chǎn)品為氣體檢測行業(yè)的最高三防設(shè)計：防高濃度過載(帶自我保護(hù)功能)、防止人員誤操作(內(nèi)置按鍵+可還原出廠設(shè)置)、防雷擊(三級標(biāo)準(zhǔn))。本質(zhì)安全型電路設(shè)計，配備鋁合金防爆外殼，即使惡劣環(huán)境下，也能安全使用。
SGA-500硅烷檢測儀可以在每個芯片生產(chǎn)車間現(xiàn)場環(huán)境布設(shè)獨立氣體監(jiān)測點。它們可提供連續(xù)監(jiān)測，以全面了解整個設(shè)施的危險氣體水平。適用于對特定場所進(jìn)行長期的氣體監(jiān)測，如工廠、倉庫、化工廠等，有助于及時發(fā)現(xiàn)潛在的安全隱患。可以與其他設(shè)備或系統(tǒng)集成，實現(xiàn)自動化控制和聯(lián)動，例如當(dāng)檢測到氣體泄漏時，自動關(guān)閉閥門或啟動通風(fēng)設(shè)備。
